三年如白駒過(guò)隙，1100多個(gè)日日夜夜里，一支平均年齡不到35歲的中國(guó)科研團(tuán)隊(duì)，走完了發(fā)達(dá)國(guó)家15年才走完的路

三年如白駒過(guò)隙，1100多個(gè)日日夜夜里，一支平均年齡不到35歲的中國(guó)科研團(tuán)隊(duì)，走完了發(fā)達(dá)國(guó)家15年才走完的路，使得國(guó)內(nèi)主流的集成電路生產(chǎn)線(xiàn)上首次出現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)核心制造裝備。9月28日，芯片制造六大裝備中的刻蝕機(jī)和離子注入機(jī)的采購(gòu)合同在北京簽訂，這標(biāo)志著國(guó)產(chǎn)100納米制造裝備初步實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化。這項(xiàng)重大的技術(shù)突破背后，既有科研人員的嘔心瀝血、苦辣酸甜，也有科研體制前所未有的改革創(chuàng)新。

1、 三年建起研發(fā)基地

2003年12月，100納米離子注入機(jī)研發(fā)課題組從長(zhǎng)沙調(diào)入北京，開(kāi)始項(xiàng)目攻關(guān)。“我們剛來(lái)的時(shí)候，通州這片基地還是一片農(nóng)田。6個(gè)月后，我們建起了1.4萬(wàn)平方米的廠房。”100納米離子注入機(jī)項(xiàng)目負(fù)責(zé)人唐景庭說(shuō)。三年后，原來(lái)的不毛之地建起了107畝的生產(chǎn)研發(fā)制造基地。

100納米離子注入機(jī)項(xiàng)目是國(guó)家“863”重大專(zhuān)項(xiàng)，跨越技術(shù)水平近五代，國(guó)內(nèi)沒(méi)有可參考的任何資料和機(jī)型，設(shè)備的復(fù)雜程度和技術(shù)難度前所未有。科研人員們夜以繼日地工作，沒(méi)有休息日，每周工作78.5小時(shí)，形成了215萬(wàn)字的研究報(bào)告。近三年的艱苦攻關(guān)終于突破了一系列關(guān)鍵技術(shù)，打破了國(guó)外尖端技術(shù)的封鎖。

設(shè)備在線(xiàn)測(cè)試期間，由于調(diào)試時(shí)間緊，調(diào)試組的技術(shù)人員每天分三班進(jìn)行不停機(jī)調(diào)試，反復(fù)進(jìn)行各種測(cè)試。渴了，喝一杯涼水；累了，倒在換衣間和衣而睡。最后，現(xiàn)場(chǎng)調(diào)試記錄堆起來(lái)有兩三尺高，為設(shè)備提供了詳細(xì)的數(shù)據(jù)。

2、科研人員舍家干科研

“我們可以說(shuō)是背井離鄉(xiāng)，很多人是砸了鐵飯碗來(lái)北京搞科研。”唐景庭說(shuō)。42人的科研團(tuán)隊(duì)剛從長(zhǎng)沙來(lái)京時(shí)，條件極其艱苦，唐景庭率領(lǐng)科研隊(duì)員住在翠微路的招待所里，6個(gè)人擠一個(gè)房間，在租用的寫(xiě)字樓中進(jìn)行科研。但更難的是為了科研拋家離子，這群年輕人告別了依依不舍的妻子和戀人，有些人還告別了幼子和年邁的雙親。

離子源專(zhuān)家戴習(xí)毛得知父親病重后，因?yàn)槊τ陂L(zhǎng)壽命離子源的研制，沒(méi)能抽空回家看望父親。他原本想離子源研制成功后，讓父親分享成功的喜悅。可正當(dāng)離子源技術(shù)攻關(guān)處于最緊張的時(shí)刻，父親卻在老家病故了。噩耗傳來(lái)，平日個(gè)性剛硬的漢子泣不成聲。

市場(chǎng)開(kāi)拓員工文超來(lái)京前在長(zhǎng)沙找了個(gè)女朋友，兩人情投意合。女朋友研究生畢業(yè)后，希望他能放棄項(xiàng)目攻關(guān)回長(zhǎng)沙成家、發(fā)展。因?yàn)閷?duì)工作的眷念，他幾經(jīng)掂量后放棄了。轉(zhuǎn)眼兩年過(guò)去了，他現(xiàn)在還是孤身一人。

“不能再說(shuō)下去了，不然說(shuō)著說(shuō)著又要流眼淚了。”面對(duì)記者，唐景庭直擺手。

2006年春節(jié)，團(tuán)隊(duì)研制的100納米離子注入機(jī)進(jìn)入了商用器件流片驗(yàn)證階段，團(tuán)隊(duì)決定留下部分技術(shù)人員駐守，聽(tīng)到這個(gè)決定時(shí)，隊(duì)伍里沒(méi)有一個(gè)人提出要回家。由于駐守人員對(duì)設(shè)備的精心維護(hù)與熟練操作，2006年2月18日，所有片子的注入工藝全部順利完成。

3、科研體制首次創(chuàng)新

“以前的科研體制是：專(zhuān)家出題、做題、判題。如今我們是產(chǎn)業(yè)界出題、企業(yè)界組織專(zhuān)家做題，市場(chǎng)來(lái)判題，和以往完全不一樣。”市工業(yè)促進(jìn)局電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展處處長(zhǎng)梁勝說(shuō)。

在此次項(xiàng)目中，政府監(jiān)督項(xiàng)目執(zhí)行進(jìn)程成為最大的亮點(diǎn)之一。科技部與北京市政府合作進(jìn)行重大項(xiàng)目實(shí)施，市工業(yè)促進(jìn)局、市科委等部門(mén)集中政府資源為項(xiàng)目攻關(guān)提供支持，企業(yè)按照市場(chǎng)化原則組織社會(huì)科技資源，形成了“官產(chǎn)學(xué)研用”的合作機(jī)制。

政府不僅制定了攻關(guān)目標(biāo)，而且積極跟蹤，針對(duì)開(kāi)發(fā)過(guò)程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)進(jìn)行協(xié)調(diào)服務(wù)。剛一立項(xiàng)，市工促局官員就帶領(lǐng)研發(fā)團(tuán)隊(duì)的專(zhuān)家赴上海，與中芯國(guó)際主要負(fù)責(zé)人討論研發(fā)必須針對(duì)大生產(chǎn)線(xiàn)的應(yīng)用等實(shí)際問(wèn)題，并推動(dòng)建立了中芯國(guó)際大生產(chǎn)線(xiàn)上的工程師與團(tuán)隊(duì)保持一周討論一次的合作機(jī)制。此后，在機(jī)器上線(xiàn)測(cè)試、采購(gòu)等一系列關(guān)鍵環(huán)節(jié)上，市工促局都進(jìn)行了積極協(xié)調(diào)。三年中，市工促局曾5次帶隊(duì)赴上海討論研發(fā)及上線(xiàn)問(wèn)題。該項(xiàng)目的實(shí)施還首次引入了第三方進(jìn)行項(xiàng)目監(jiān)制監(jiān)理，聘請(qǐng)中國(guó)新時(shí)代工程咨詢(xún)公司作為項(xiàng)目第三方，與攻關(guān)組同步工作，滲透至項(xiàng)目運(yùn)行的各個(gè)環(huán)節(jié)，進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)見(jiàn)證與監(jiān)督。

4、贏得國(guó)際平等對(duì)話(huà)

100納米離子注入機(jī)是芯片制造裝備的核心設(shè)備，然而，我國(guó)在離子注入機(jī)核心技術(shù)上始終技不如人，這種局面一直使得國(guó)內(nèi)從事離子注入機(jī)技術(shù)的科研人員抬不起頭來(lái)。中科院微電子研究所副所長(zhǎng)葉甜春告訴記者，國(guó)外曾有人說(shuō)過(guò)，“把圖紙給你們，看你們?cè)趺醋觥保�他們不相信中�?guó)有這樣的技術(shù)攻堅(jiān)能力。“我一直記得一件很恥辱的事，一次我們?cè)诿绹?guó)一家著名的同業(yè)公司參觀，別人不讓我們進(jìn)入整裝生產(chǎn)線(xiàn)參觀，說(shuō)‘你們看了，差距就要縮短十年。’”唐景庭告訴記者。由于國(guó)內(nèi)沒(méi)有高精尖的集成電路制造裝備，只能從國(guó)外高價(jià)購(gòu)買(mǎi)，“后來(lái)我們?nèi)ヅ袆e那些買(mǎi)來(lái)的裝備，根本不值！很多都是國(guó)外淘汰的，有的買(mǎi)回來(lái)就是廢鐵。就這么賺走了我們的血汗錢(qián)啊！”

現(xiàn)在，這一尖端課題得到攻克，在國(guó)際談判時(shí)就有了平等的對(duì)話(huà)基礎(chǔ)，“這種時(shí)候，才是我們最興奮、心里最舒暢的時(shí)候！”唐景庭說(shuō)。

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